Улучшение эффективности очистки вафли с помощью дистанционных модулей ввода/вывода серии Decowell RB
Опыт работы в отрасли
При производстве полупроводников кремниевые пластинки должны проходить ряд точных процессов, таких как нарезание, измельчение краев, лапирование, обработка поверхности, полировка и эпитаксиальный рост.Эти шаги неизбежно оставляют поверхность пластины загрязненной частицамиСтадия очистки пластинки играет решающую роль в удалении этих примесей, чтобы обеспечить урожайность и надежность конечных продуктов.Процесс требует не только точности, но и стабильности и интеллектуального управления, чтобы свести к минимуму потери производства и риски загрязнения.
Обзор проекта
Для удовлетворения строгих требований современной очистки пластинок проект объединяетOmron PLC в качестве основного контроллера, в сочетании с индивидуальнымКонфигурация ввода/выводас участием ДековелловДистанционные модули ввода/вывода серии RB- Устройство включает:
-
3× RB-1110 Автобусные сцепления
-
Модули 3×16DI
-
Модули 3×16DO
-
1× Аналоговый входный модуль (AI)
-
1× Аналоговый выходный модуль (AO)
Эта конфигурация позволяет собирать и контролировать данные в режиме реального времени по критическим параметрам очистки, включая рабочее состояние оборудования, давление жидкости и химические концентрации.
Серия Decowell RB: компактная, эффективная и надежная
Модули дистанционного ввода/вывода серии Decowell RB разработаны для удовлетворения высокопроизводительных потребностей автоматизированного управления процессами.сверхтонкий форм-факториДизайн, удобный для железных дорог DINВ этом приложении серия RB позволяет быстро развертываться, даже в электрических шкафах с ограниченным пространством.мониторинг в реальном времени и дистанционная диагностикаЭто помогает техникам выявлять аномалии, такие как нестабильное давление или неправильное дозирование, без необходимости проведения инспекций на месте.
Эта визуализация состояния системы в режиме реального времени обеспечивает быструю реакцию на отклонения, минимизирует время простоя и помогает поддерживать оптимальную производительность очистки в каждой партии пластинок.модульная архитектура серии RB поддерживаетгибкое расширение, что позволяет производителям адаптировать масштаб В/В к различным производственным линиям и будущим обновлениям.
Влияние применения
С годовым объемом использования более100, 000 единиц, серия Decowell RB доказала себянадежный, масштабируемый и экономичныйКлиенты сообщают об увеличении прозрачности процессов, улучшении использования оборудования и сокращении времени технического обслуживания.Интеграция также поддерживает высокоуровневую связь, что позволяет бесперебойно общаться с системами SCADA или MES для создания по-настоящему интеллектуальной фабричной инфраструктуры.
Заключение
В высокоточных отраслях, таких как производство полупроводников, аппаратное обеспечение автоматизации должно обеспечивать как надежность, так и гибкость.Решение дистанционного ввода/вывода серии Decowell RB не только отвечает техническим требованиям сложных процессов очистки пластинок, но и улучшает интеграцию системы, масштабируемость и долгосрочное обслуживание, что делает его надежным выбором для интеллектуального производства следующего поколения.